金融界2024年6月21日音讯，天眼查知识产权信息数据显现，绍兴中芯集成电路制作股份有限公司获得一项名为“一种用于晶圆枯燥的雾化设备及晶圆枯燥设备”的专利，授权公告号CN221201089U，请求日期为2023年9月。

　　专利摘要显现，本实用新型供给了一种用于晶圆枯燥的雾化设备及晶圆枯燥设备，该雾化设备包括：榜首接口，用于通入带着有液态除水介质的常温气体；第二接口，用于通入高温气体；雾化腔室，别离衔接所述榜首接口与所述第二接口，用于混合所述高温气体和所述液态除水介质，以将所述液态除水介质蒸发为气态除水介质；第三接口，与所述雾化腔室衔接，用于开释所述气态除水介质。本实用新型的用于晶圆枯燥的雾化设备，可以在雾化腔室内将高温气体与液态除水介质进行混合，以将液态除水介质蒸发为气态除水介质，从而改进除水介质的雾化作用。